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स्क्रैच प्रतिरोधी नीलम खिड़की मोह 9 सेमीकंडक्टर उपकरण व्यूपोर्ट

उत्पाद विनिर्देशन
उत्पत्ति का स्थान: गुआंग्डोंग, चीन
ब्रांड नाम: ECER Optics
प्रमाणन: ISO 9001:2015
मॉडल नंबर: SW-SEM-हार्ड
न्यूनतम आदेश मात्रा: 10 टुकड़े
कीमत: USD 8-50 / Piece
भुगतान की शर्तें: टी/टी, पेपैल, वेस्टर्न यूनियन
आपूर्ति की योग्यता: प्रति माह 30000 टुकड़े
उत्पाद विवरण
प्रमुखता देना:

खरोंच प्रतिरोधी नीलमणि खिड़की

,

सेमीकंडक्टर उपकरण खिड़की

,

मोह 9 कठोरता प्रकाशिकी

Product Name: खरोंच प्रतिरोधी नीलमणि खिड़की
Application: अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण
Hardness: मोहस 9
Material: सिंगल क्रिस्टल नीलम Al2O3
Diameter: कस्टम 10 मिमी - 200 मिमी
Chemical Resistance: अम्ल, क्षार और प्लाज्मा प्रतिरोधी
Surface Quality: 60-40 स्क्रैच-डिग
Flatness: लैम्ब्डा/4
उत्पाद वर्णन
खरोंच प्रतिरोधी नीलमणि खिड़की मोह 9 अर्धचालक उपकरण व्यूपोर्ट
यह खरोंच प्रतिरोधी नीलम की खिड़की अर्धचालक उपकरणों के व्यूपोर्ट के लिए बनाई गई है, जहां प्रक्रिया कक्षों में खिड़कियां प्लाज्मा, कण घर्षण और आक्रामक सफाई रसायनों के संपर्क में आती हैं।यह खिड़की एकल क्रिस्टल नीलमणि से बनी है जिसका मोहस कठोरता 9 है, केवल हीरे के बाद दूसरा, जो इसे कांच या क्वार्ट्ज व्यूपोर्ट की तुलना में बहुत लंबे समय तक एक साफ ऑप्टिकल सतह बनाए रखने की अनुमति देता है।
लगातार चलने वाले वेफर प्रसंस्करण उपकरण के लिए, खरोंच प्रतिरोधी नीलम की खिड़की रखरखाव के समय को कम करती है और कक्ष के जीवनकाल के दौरान निरीक्षण इमेजिंग को स्थिर रखती है।अर्धचालक वातावरण कठोरता से अधिक की मांग करता है, यही कारण है कि इस नीलम की खिड़की को एसिड, बेस और प्लाज्मा रसायनों के लिए रासायनिक प्रतिरोध के लिए भी निर्दिष्ट किया गया है, साथ ही प्रक्रिया चक्र के तापमान में उतार-चढ़ाव के दौरान थर्मल स्थिरता भी है।
प्रत्येक खिड़की को 60-40 स्क्रैच-डिग सतह की गुणवत्ता के साथ 4 से अधिक लैम्ब्डा की सपाटता के साथ पॉलिश किया जाता है, और बढ़त प्रोफाइल को माउंटिंग फ्लैंज में तनाव एकाग्रता से बचने के लिए ग्राउंड और बिवेल किया जाता है।10 मिमी से 200 मिमी तक कस्टम व्यास और वैक्यूम या वायुमंडलीय दबाव के लिए मिलान मोटाई उपलब्ध हैं, और प्रत्येक शिपमेंट में उपकरण योग्यता के लिए सामग्री प्रमाण पत्र और आयामी निरीक्षण रिकॉर्ड शामिल हैं।
तकनीकी विनिर्देश
उत्पाद का नाम खरोंच प्रतिरोधी नीलमणि खिड़की
सामग्री एकल क्रिस्टल नीलम Al2O3
कठोरता मोहस 9
व्यास कस्टम 10mm - 200mm
मोटाई 1.0 मिमी - 8.0 मिमी कस्टम
सतह की गुणवत्ता 60-40 स्क्रैच-डिग
समतलता लैम्बडा/4 @ 632.8nm
रासायनिक प्रतिरोध एसिड, बेस और प्लाज्मा प्रतिरोधी
आवेदन अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण
प्रमाणपत्र RoHS अनुपालन, आईएसओ 9001:2015
मुख्य लाभ
  • मोहस 9 कठोरता कणों और प्लाज्मा-प्रेरित खरोंच का विरोध करती है
  • रासायनिक निष्क्रियता आक्रामक कक्ष सफाई रसायनों से बचती है
  • थर्मल स्थिरता हैंडल बिना फ्रैक्चर के प्रक्रिया तापमान चक्र
  • घुमावदार ग्राउंड किनारों माउंटिंग flange में तनाव एकाग्रता को कम
  • लंबे समय तक सेवा जीवन व्यूपोर्ट प्रतिस्थापन आवृत्ति और डाउनटाइम को कम करता है
  • सामग्री प्रमाणपत्र अर्धचालक उपकरण योग्यता का समर्थन करते हैं
  • कस्टम आकार वैक्यूम और वायुमंडलीय प्रक्रिया व्यूपोर्ट से मेल खाते हैं
  • खिड़की के माध्यम से वेफर निरीक्षण के लिए सुसंगत ऑप्टिकल स्पष्टता
खरोंच प्रतिरोधी नीलम की खिड़की अर्धचालक निर्माण की वास्तविक परिचालन स्थितियों के आसपास डिजाइन की गई हैः बार-बार कक्ष खोलना, प्लाज्मा सफाई, और घर्षण कण प्रवाह।उपकरण सेवा कार्यक्रमों से क्षेत्र डेटा से पता चलता है कि नीलमणि व्यूपोर्ट आमतौर पर उत्कीर्णन और जमाव उपकरण में क्वार्ट्ज से कई गुना अधिक रहता है, जो सीधे फैक्ट्री ऑपरेटरों के लिए स्वामित्व लागत को कम करता है।
यह खिड़की उन आसन्न उद्योगों के लिए भी उपयुक्त है जो एक ही कठोर पर्यावरण प्रोफ़ाइल साझा करते हैं, जिसमें फ्लैट पैनल डिस्प्ले प्रोसेसिंग, सोलर सेल विनिर्माण और वैक्यूम कोटिंग सिस्टम शामिल हैं।डिजाइन इंजीनियरों को बढ़ते मार्गदर्शन मिलते हैं, जिसमें अनुशंसित फ्लैंज सहिष्णुता और सील सामग्री शामिल हैं, इसलिए खरोंच प्रतिरोधी नीलमणि खिड़की बिना किसी रीवर्किंग के मौजूदा व्यूपोर्ट डिजाइन में एकीकृत होती है।
उत्पाद प्रश्न और उत्तर
प्रश्न: अर्धचालक व्यूपोर्ट को क्वार्ट्ज के बजाय नीलम की आवश्यकता क्यों होती है?
प्रक्रिया कक्ष प्लाज्मा, कणों और प्रतिक्रियाशील रसायनों का उत्पादन करते हैं जो क्वार्ट्ज व्यूपोर्ट को जल्दी से काटते हैं और खरोंच करते हैं, ऑप्टिकल पथ को धुंधला करते हैं।मोहस 9 कठोरता वाला नीलम इस क्षति का बहुत अधिक चक्रों के लिए प्रतिरोध करता है, और इसकी रासायनिक निष्क्रियता सफाई एजेंटों से अपघटन को रोकती है।
प्रश्न: खिड़की किस प्रकार के दबाव का समर्थन कर सकती है?
दबाव रेटिंग व्यास, मोटाई और माउंट डिजाइन पर निर्भर करती है। विशिष्ट 25 मिमी से 100 मिमी व्यूपोर्ट के लिए, 2 मिमी से 8 मिमी तक की मोटाई अंतर दबाव के कई बार तक वैक्यूम का समर्थन करती है।हम अपने विशिष्ट कक्ष की स्थिति के लिए सिफारिश मोटाई गणना प्रदान करते हैं.
प्रश्न: क्या खिड़की को दृश्यमान दायरे में प्रतिबिंब के लिए लेपित किया जा सकता है?
हाँ. जबकि कई अर्धचालक व्यूपोर्ट अधिकतम मजबूती के लिए अनकोटेड नीलम का उपयोग करते हैं, हम उच्च प्रसारण की आवश्यकता होने पर दृश्यमान निरीक्षण तरंग दैर्ध्य के लिए एक टिकाऊ एआर कोटिंग लागू कर सकते हैं।रिलीज से पहले प्लाज्मा और रासायनिक जोखिम के लिए कोटिंग को मान्य किया जाता है.
प्रश्न: उपकरण की योग्यता के लिए क्या दस्तावेज उपलब्ध कराए जाते हैं?
प्रत्येक शिपमेंट में नीलम सामग्री प्रमाण पत्र, आयामी निरीक्षण रिपोर्ट, सतह गुणवत्ता रिकॉर्ड और RoHS घोषणाएं शामिल हैं।योग्य कार्यक्रमों के लिए हम भी बैच स्तर के रासायनिक प्रतिरोध परीक्षण डेटा और थर्मल चक्र परिणाम प्रदान कर सकते हैं.
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